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TOF SIMS在半導(dǎo)體器件中的應(yīng)用

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Investigations of semiconductor devices using SIMS; diffusion, contamination, process control, Applied Surface Science, Volume 255, Issue 4,2008,Pages 1395-1399,ISSN 0169-4332,https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2008.06.129.

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